激光加工過程中伴隨產生的等離子體可在一定條件下控制用于石英的微鉆孔,從而在塊狀石英中產生微型通道.但是處于極度高能狀態下的激光誘導等離子體因其產生持續消失的過程短暫而復雜,使得等離子體的控制挑戰性激光與靶物質相互作用過程中,當靶吸收的激光能量達到靶材料被離子化的域值時,在靶表面部分產生等離子體.等離子體的密度、溫度、波前鋒速度、環境壓強、氣體種類、光譜特性等已經引起研究者的注意。這些等離子體參數可以通過各種診斷方法獲得。
等離子體有多方面的應用,等離子體各項參數的變化與等離子體的動態變化是緊密相關的。在激光誘導等離子體法在石英基片上加工微通道過程中,由于激光與石英相互作用在石英被加工點表面形成等離子體處于*能量的等離子體刻蝕石英材料形成坑孔,通過控制焦距可使等離子體的刻蝕過程不斷繼續深入而使坑孔形成微通道.
為了在激光微加工過程中了解掌握等離子態的物理特性,更好地控制等離子體使之用于微通道的加工工具,利用千眼狼高速攝像機對激光加工過程中伴隨產生的等離子體在室溫大氣壓下的動態過程進行監測研究.對等離子體持續過程及其隨時間的變化進行實驗分析,提出等離子體在通道內突然消失的可能機制,并為進一步控制等離子體的形成提供了實驗基礎。